半导体

用于微芯片生产的外夹式流量计

液体流动过程是半导体和电子元件制造行业的重要组成部分。在半导体和印刷电路板 （PCB） 的各个生产步骤中使用的流体要么是腐蚀性的，要么是超纯的。由于我们的超声波流量计安装在外部，因此它们是这些条件的理想选择，并且与其他仪器不同，它们不会受到介质低电导率的影响。

流量计为半导体行业的客户提供多项优势。

多样性

我们的超声波流量计可测量半导体生产中发现的各种不同流体，从化学机械平坦化 （CMP） 中使用的磨蚀性流体到清洁过程中的酸、溶剂、表面活性剂和去离子水。

安全

半导体生产中的许多流体具有腐蚀性或对健康有害。去除多余铜所需的高强度酸可能会导致任何实施的侵入性技术的安全和测量问题。Katronic 流量计是非侵入式的，使其完全安全。

经济

操作 Katronic 流量计来控制和验证冲洗过程将延长溶液的浴液寿命，降低化学成本并降低废品率。它们还可用于检查过量冲洗液的体积，并可以减轻废物处理系统的负担。

应用

• 沉淀剂、还原剂和替代剂的测量

• 化学机械平坦化 （CMP） 流体的控制

• 废水排放量的计算

• 监测氢氟酸系统

• 计量板冲洗系统

• 超纯水测量

客户参考

• 英特尔

• ST微电子

• 希捷